多重圖形

多重圖形(Multiple patterning)是指一種在半導體製造過程中的技術。在光刻過程中使用了多重圖形曝光增強了製作圖形的密度。

儘管極紫外光刻將在下一代光刻中作為一個選項,但是這個仍然需要額外一次曝光。

中心距分離

多重圖形的最簡單形式是將圖形分離成二個或者三個部分。每個部分按照通常的製程方法進行製作。整個圖形最終會合併形成最終的圖層。這種方法有時稱為中心距分離,也會被稱為光照-刻蝕-光照-刻蝕(LELE)。

這種技術用於20納米製程、14納米製程等。額外暴光的成本在相關製程中可以承受。一個重要的關注點是多次暴光中的圖形交疊問題。自對準多重暴光技術成功的引入解決這一問題。

側壁圖像轉移

 
多重圖形介紹

側壁是一個通過將預圖形兩邊澱積而產生的物質。

由於側壁使用的是hardmask材料,它們的後刻蝕圖形質量非常重要。

公司 邏輯工藝 最小金屬間距(MMP) 柵間間距 (CGP) MMP*CGP CGP:MMP ratio 最先進技術 量產開始時間
Intel 10nm 36 nm[1] 54 nm[1] 1944 nm2 1.5 SAQP[1][2] 2017年末[3]
TSMC 7nm 40 nm 57 nm[4] 2280 nm2 1.425 LELELE[5] 2017年初[6]
Samsung 10LPE 48 nm[7] 64 nm[7] 3072 nm2 1.33 LELELE[8] 2016年末
GlobalFoundries 7LP 40 nm[4] 56 nm[4] 2240 nm2 1.4 LELELE,[9] SADP[4] 2018年末[9]

參考資料

  1. ^ 1.0 1.1 1.2 Intel unveils 10nm. [2017-08-25]. (原始內容存檔於2019-08-05). 
  2. ^ Intel 14 nm Leadership (PDF). [2017-08-25]. (原始內容存檔 (PDF)於2020-12-09). 
  3. ^ Intel Cannonlake may slip to 2018. [2017-08-25]. (原始內容存檔於2017-04-04). 
  4. ^ 4.0 4.1 4.2 4.3 存档副本. [2017-08-25]. (原始內容存檔於2019-03-30). 
  5. ^ TSMC 7nm to use triple patterning. [2017-08-25]. (原始內容存檔於2017-12-01). 
  6. ^ TSMC on 2017. [2017-08-25]. (原始內容存檔於2019-08-04). 
  7. ^ 7.0 7.1 Samsung 10nm. [2017-08-25]. (原始內容存檔於2017-12-30). 
  8. ^ 引用錯誤:沒有為名為samsung10nm的參考文獻提供內容
  9. ^ 9.0 9.1 GlobalFoundries Updates 7nm. [2017-08-25]. (原始內容存檔於2019-08-08).