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台灣最早發展地熱發電始於1966年，由經濟部礦業研究所進行探勘工作。1973年第一次能源危機爆發後，經濟部指示進行全國地熱區資源普查。根據普查結果，工研院選定宜蘭清水地熱區為首要潛能區，並進行系統性探勘。

1976年中油公司加入探勘行列，在該區鑽探深井成功，1977年由工研院、中油及台電三機構分別負責探勘、生產及發電，並建造第一座1,500瓩（1.5MW）地熱試驗電廠，隨後於1981年4月構建3,000瓩（3MW）地熱電廠，同年9月清水地熱發電廠移交台電營運，但由於熱液產能因孔內結垢問題造成逐年衰減，以致發電量隨之遞減，運轉12年後於1993年停止發電試驗。

2002年起政府重新探勘，並評估修復地熱井，已完成50瓩（50kW）示範機組。2016年宜蘭縣政府進行招商，由「宜元股份有限公司」得標，預計第一期1,000瓩（1MW）於2020年開始商轉。

除了清水地熱發電廠之外，還有一些電廠開發正在進行中，例如綠島地熱示範發電廠。