晶圆测试

晶圆测试半导体器件制造过程的一個步驟,在后道工序完成后,就要進行晶圆测试。人們要對晶圆上的所有的集成电路進行檢測(ATPG),以確認是否存在功能缺陷。檢測設備叫作晶圆探针台。晶圆探针台有探针,探针会竖起来扎到焊盘进行测试。[1]

参考文献

  1. ^ 佐藤淳一,图解入门 半导体制造工艺基础精讲 原书第4版,机械工业出版社,2022.03,152頁