上海微电子
上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称SMEE)是中国大陸半导体装备制造商,主要生產半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务[1]。
上海微电子装备(集团)股份有限公司 | |
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Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. | |
公司類型 | 上市公司 |
成立 | 2002年 |
總部 | 中华人民共和国上海市浦东新区张东路1525号 |
产业 | 半导体产业 |
產品 | 半导体 光刻系统 |
母公司 | 上海张江高科技园区开发股份有限公司 |
网站 | www |
沿革
2018年,上海微電子裝備所能投產的光刻机制程为90nm[2],后于有传闻更精良的28nm光刻机制程據聞將於2021年首季投入使用[3][4][5],但亦未確定28nm機型的量產能力,由於過去未如外國廠商集合商業聯盟進行聯合開發,在科研單位與業界支持力道不足下,因而銷售市佔主要僅在中低端光刻機與相關設備[6][7],但隨著美國向中國大陸禁運光刻机,中国国产光刻机的发展被广受关注[8]。但2021年國產DUV並沒有問世,據《第一財經》報導,近日發布的《中國集成電路產業人才發展報告(2020-2021年版)》显示中國大陸半導體人才短缺高達20餘萬人,中國大陸半導體产业的情況并不樂觀[9]。
2022年7月7日,上海微电子举行了首台2.5D/3D先进封装光刻机的交付仪式,但该机器是用于芯片下游制造的先进封装光刻机,并非此前关注的用于芯片上游制造的光罩光刻机[10]。但涉及中低階裝備、材料、檢測的國產化進度可期,不少必要的下游合作同行,也正在逐漸攻克國產產業鍊[11]。现今,上海微电子装备生产的先进封装光刻机在中国大陆的市占率达80%,海外市佔率达40%[10]。
到了2023年5月開始,不少網路消息聲稱更精良的首部28nm光刻机研製終於進入尾聲,編號為"SSA/800-10W",據聞最快將於2023年末組裝[12][13][14],但是並沒有更多證據流出,直到後來上海张江集团的一篇文章出台確認此機器為真,該相關企業為公司第四大股東與國有企業之一,表示上海微電已經開發出了中國首家28nm技術,但報導很快遭到修改。[15][16]2024年9月,一款採用193nm光源,65納米以下分辨率,多重曝光能力8nm的「氟化氬光刻機」,出現在重大技術裝備推廣應用指導目錄,初代樣機可能準備要進入下游廠商開始試驗反饋,不過尚無中國官方與廠商宣布這項消息,良率也未知[17][18]。
光刻机产品
參見
参考来源
- ^ 发展历程. [2018-11-07]. (原始内容存档于2020-10-05).
- ^ 由国内三台光刻机开始的一些思考. [2018-11-07]. (原始内容存档于2018-11-07).
- ^ 上海微電子28nm光刻機明年交付!意義何在?. [2020-06-07]. (原始内容存档于2020-12-07).
- ^ 國內28nm光刻機有望明年出貨,離半導體自給自足又近了一步. [2020-12-07]. (原始内容存档于2022-02-11).
- ^ China's 28nm-Capable Chip Fabbing Tool on Track Amid Trade War. [2020-12-06].
- ^ 為什麼光刻機比原子彈還難造?. [2021-01-28]. (原始内容存档于2021-02-04).
- ^ 讲述上海微电子的故事,还原国产28nm光刻机真相. [2021-03-16]. (原始内容存档于2021-01-23).
- ^ 觀點投書:中國向光刻機急起直追. [2020-12-22]. (原始内容存档于2021-01-04).
- ^ 發展半導體產業 大陸未來兩年至少還缺20萬人才. [2021-11-18]. (原始内容存档于2021-11-18).
- ^ 10.0 10.1 10.2 10.3 聯合報記者黃雅慧. 上海微電子小躍進 新一代「先進封裝光刻機」交付. 聯合新聞網. 2022-02-08 [2022-07-27]. (原始内容存档于2022-07-27) (中文(臺灣)).
- ^ 中國晶片業擴張迅速 首台國產28奈米浸潤式光刻機有望年底交付 | Anue鉅亨 - A股. news.cnyes.com. [2024-09-15] (中文(臺灣)).
- ^ 中國首台28nm光刻機到底有沒有出爐?聽起來有點太玄乎. [2023-05-09]. (原始内容存档于2023-08-07).
- ^ 國產光刻機有望取得突破 首台國產28nm工藝沉浸式光刻機最快年底交付. [2023-08-03]. (原始内容存档于2023-08-07).
- ^ Chinese firm expected to deliver 28nm chip machine at year-end: media report. [2023-08-01]. (原始内容存档于2023-10-09).
- ^ 聯合早報. 上海微電子據報成功研製出中國首台28納米光刻機. 香港01. 2023-12-20 [2024-09-15] (中文(香港)).
- ^ 上海微电子据报成功研制出中国首台28纳米光刻机 | 联合早报. www.zaobao.com.sg. [2024-09-15] (中文(简体)).
- ^ 星島日報. 中國研發出國產DUV曝光機 可產8納米及以下晶片. std.stheadline.com. 2024-09-15 [2024-09-15] (中文(香港)).
- ^ Storm.mg. 突破美國、ASML封鎖?中國實現國產DUV曝光機 可生產8奈米及以下晶片-風傳媒. www.storm.mg. 2024-09-15 [2024-09-15] (中文(臺灣)).
- ^ 19.0 19.1 300系列光刻机. [2022-10-02]. (原始内容存档于2022-10-02).